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2月13日，華夏上證科創板半導體材料設備主題ETF基金（588170）最新份額為45.67億份，較前一交易日減少了6600.0萬份。當日資金凈流出2809.98萬元（資金流向是當日計算的資產凈值和上一交易日計算的資產凈值相減得出的），最新資產凈值計算值為81.32億元。該基金近一周凈值上漲2.72%，近一個月凈值上漲5.76%。

華夏上證科創板半導體材料設備主題ETF基金成立于2025年3月24日，基金經理為楊斯琪，基金跟蹤標的為上證科創板半導體材料設備主題指數，成立以來超額回報為2.78%，近一個月超額回報為-0.04%。最新披露的基金持倉數據顯示，截止2025年12月31日，該基金第一大重倉股為拓荊科技（688072），持股占比為10.08%。

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